晶片装载室及其晶片载具

摘要

一种晶片装载室包括一装载室壳体，其具有至少一负载口、至少一负载门，设置于装载室壳体外侧以及至少一晶片载具，设于装载室壳体内，用以承载晶片。其中，晶片载具还包括至少一晶片座以及多个定位装置，设于晶片座上并突出于晶片座表面。当晶片置于晶片载具上时，晶片底表面仅与等定位装置相接触。本发明还涉及一种晶片载具。

主权项

1.一种晶片装载室(loadlock chamber)，其包括：一装载室壳体，其具有至少一负载口(loading port)；至少一负载门(loading door)，设置于该装载室壳体的外侧；以及至少一晶片载具(wafer holder)，设于该装载室壳体之内，用以承载一晶片，该晶片载具包括：至少一晶片座；以及多个定位装置(locator)，设于该晶片座之上并突出于该晶片座表面；其中，当该晶片置于该晶片载具之上时，该晶片的底表面仅与该些定位装置相接触。