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发明名称 Turbo molecular pump
摘要
申请公布号 EP1101944(B1) 申请公布日期 2006.07.19
申请号 EP20000124676 申请日期 2000.11.11
申请人 PFEIFFER VACUUM GMBH 发明人 LOTZ, HEINRICH;STANZEL, JOERG
分类号 F04D19/04;F04D29/08;F04D29/54 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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