用于微粒清除的均匀空化

摘要

一种用于促进基本均匀空化场的系统和方法。利用包括分隔容器(103)的膜片(109)的系统(100)，产生对应于因空穴C破裂而产生的第一能量脉冲的第二能量脉冲，并用来确定是否要调节相应的变换器121－k。在系统16中，空穴产生单元(11)包含变换器15－i的组件，该空穴产生单元在变换器试验以后可从试验液移动到微粒清除(PR)液中。在另一系统中，具有传感器171－j阵列的传感器板(170)提供虚拟晶片。通过空穴增强液或变换器能量调节，可保持基本均匀的空化场。物体夹持机构产生基本均匀的空化作用。容器内相对的变换器具有单调下降和/或单调上升的空化密度，这些变换器产生基本均匀的空化密度。

主权项

1.一种用于清除表面上一个或多个微粒的方法，所述方法包括：提供I个可触发变换器的组件，I≥2，各个变换器都能在选择的微粒清除液中产生至少一个空穴，在此，产生的空穴随后破裂，并且提供一机构，用于清除在微粒清除液中悬挂的表面上的至少一个微粒；在选择的试验液内浸没变换器组件；触发所述变换器组件的至少一个变换器；测量由至少一个变换器产生的空穴密度；确定是否要调节所述至少一个变换器的至少一个参数；从试验液中移出变换器组件，并且把该变换器组件浸没在微粒清除液中；和触发微粒清除液中的至少一个变换器，并且使至少一个变换器产生的至少一个空穴能破裂，从而在微粒清除液中浸没的表面上的至少一个微粒得到清除。