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发明名称 DEVICE FOR CONTROLLING THE ELECTRONIC TEMPERATURE IN AN ECR PLASMA
摘要
申请公布号 EP1680948(A2) 申请公布日期 2006.07.19
申请号 EP20040805372 申请日期 2004.11.03
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 HITZ, DENIS;CORMIER, DAVID
分类号 H01J27/02;H05H1/18;(IPC1-7):H05H1/18 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
主权项
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