| 发明名称 | 反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜材料及其制备和应用 | ||
| 摘要 | 本发明涉及反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜材料及其制备和应用，组成为Fe<SUB>x</SUB>(TiO<SUB>2</SUB>)<SUB> 1－x</SUB>，其中x为铁的金属颗粒所占的体积百分比，0.40＜x＜0.76。本发明是采用直流磁控溅射技术，在氩气和氧气的混合气氛中，控制铁靶的溅射功率沉积。基片为玻璃、石英、聚酯、单晶硅、单晶砷化镓等，溅射时基片不加热。本发明的Fe<SUB>x</SUB>(TiO<SUB>2</SUB>)<SUB> 1－x</SUB>磁性颗粒薄膜的最大磁电阻数值为－29.3％，室温磁电阻数值大于－10％。本发明制备的Fe<SUB>x</SUB>(TiO<SUB>2</SUB>)<SUB> 1－x</SUB>磁性颗粒薄膜具有高磁电阻数值、制备工艺简单、成本低、适用于多种基片等优点，可用来制作计算机读出磁头、磁随机存储器、微弱磁场检测、位置检测等磁敏传感器件。 | ||
| 申请公布号 | CN1805081A | 申请公布日期 | 2006.07.19 |
| 申请号 | CN200610013056.6 | 申请日期 | 2006.01.16 |
| 申请人 | 南开大学 | 发明人 | 刘晖;王健;王雅欣 |
| 分类号 | H01F10/20(2006.01);H01F41/18(2006.01);H01F41/16(2006.01);G01R33/09(2006.01);H01L43/08(2006.01);H01L43/12(2006.01);G11B5/39(2006.01);G11C11/16(2006.01) | 主分类号 | H01F10/20(2006.01) |
| 代理机构 | 天津市学苑有限责任专利代理事务所 | 代理人 | 赵尊生 |
| 主权项 | 1、一种反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜材料，其特征在于它是在基片上制成的反铁磁耦合的磁性颗粒薄膜，磁性颗粒薄膜的组成为Fex(TiO2)1-x，其中x为材料中铁的金属颗粒所占的体积百分比，0.40＜x＜0.76，Fe金属颗粒的直径在4～34纳米。 | ||
| 地址 | 300071天津市卫津路94号南开大学信息学院 | ||