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发明名称 Method for lubricating mems components
摘要
申请公布号 GB2403345(B) 申请公布日期 2006.07.19
申请号 GB20040012127 申请日期 2004.06.01
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 LEATRICE LEA GALLMAN ADAMS;EDWARD C FISHER;JOSHUA J MALONE;SETH A MILLER;JACK C SMITH;WILLIAM K DENNIS;JEFFREY W MARSH
分类号 B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G02B26/08 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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