用于对微特征工件的机械与/或化学－机械抛光的系统和方法

摘要

用于对微特征工件抛光的系统和方法。在一个实施例中，一种方法包括：确定微特征工件的某一特征的状态；和在确定微特征工件的特征的状态后，将承载器头与/或抛光垫相对于另一个移动，以使微特征工件摩擦抛光垫。该承载器头还承载多个压电部件。该方法还包括根据确定的特征的状态，通过对多个压电部件的至少一个加电向微特征工件的背面施加压力。在另一个实施例中，一种系统包括：工件承载器组件；多个压电部件；抛光垫；用于确定特征的状态的度量工具；以及控制器。该控制器可具有包括指令的计算机可读介质，以执行上述方法。

主权项

1.一种用于对具有特征的微特征工件抛光的方法，所述方法包括：确定脱离抛光循环的所述微特征工件的所述特征的状态；在确定所述微特征工件的所述特征的所述状态后，使承载器头和平面化介质的至少一个相对另一个移动，所述承载器头承载多个驱动部件；和根据所确定的所述特征的所述状态，通过控制所述多个驱动部件的至少一个，向所述微特征工件的背面施加压力。