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发明名称
摘要
申请公布号 JP3797690(B2) 申请公布日期 2006.07.19
申请号 JP19950327485 申请日期 1995.12.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L27/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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