调度多机器人加工系统

摘要

一种机器人制造系统，可以包括多个机器人，用于在制造工艺中的一系列级之间传送材料。为了提供改善的效率，这些机器人的每一个可以根据操作的逆工艺流程、周期调度来独立操作。

主权项

1.一种用于加工半导体晶片的制造系统，包括：输入缓冲器，用于保持用于在系统中加工的晶片；多个级，每个用来执行用于加工晶片的顺序中的一个加工步骤，每一级具有一个或多个台，每个台用来执行用于该级的加工；输出缓冲器，用于保持在系统中加工过的晶片；以及多个机器人，用于在各级、输入缓冲器和输出缓冲器之间传送晶片，每个机器人被指定各级中的一些，并用来根据按相反的步骤顺序服务指定级的确定的调度来服务各级。