基片处理设备

摘要

基片处理设备包括用于接纳各自存放多张基片的整体容器的存放区、用于整体地处理多张基片的第一处理区、用于一次处理一张基片的第二处理区、以及用于在整体容器、第一处理区和第二处理区之间输送诸基片的输送装置。可以按整体地处理多张基片的方式和/或一次处理一张基片的方式处理基片。

主权项

1.一基片处理设备，该设备包括：用于支持存放多张基片的一容器的一容器台；包括用于整体地处理多张基片的一第一处理部分、以及用于对多张基片一次处理一张基片的一第二处理部分的一基片处理区；用于在所述容器台、所述第一处理部分和所述第二处理部分之间输送诸基片的一输送机构；以及用于根据基片处理状态控制用于在所述容器台、所述第一处理部分和所述第二处理部分之间输送诸基片的所述输送机构的一输送操作的一控制装置。