发明名称 Multi Chamber Thermal Evaporation Apparatus
摘要
申请公布号 KR100600879(B1) 申请公布日期 2006.07.19
申请号 KR20040075660 申请日期 2004.09.21
申请人 发明人
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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