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发明名称 DISK-LIKE SUBSTRATE CHUCKING DEVICE AND METHOD, AND METHOD OF PRODUCING DISK-LIKE RECORDING MEDIUM USING THE DEVICE
摘要
申请公布号 KR100602528(B1) 申请公布日期 2006.07.19
申请号 KR20047013886 申请日期 2003.03.07
申请人 发明人
分类号 C23C14/06;G11B7/26;C23C14/04;C23C14/34;C23C14/50 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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