脉冲预电离高频放电板条气体激光器

摘要

脉冲预电离高频放电板条气体激光器涉及激光器技术。在激光谐振腔内，设有上预电离电极和下预电离电极，两电极内表面附有绝缘层，且上预电离电极和下预电离电极分别与脉冲发生器电连接；两主放电电极分别置于上预电离电极和下预电离电极的两侧，且分别与高频交流电源输出端相连。其还可采用高频方波开关电源作为主放电电源和预电离电源。本发明放电稳定性好，实现了矩形截面放电区的均匀放电激励，能以高重复率脉冲或连续方式运转，具有输出功率大、重复频率高、小型化等优点。

主权项

1、一种脉冲预电离高频放电板条气体激光器，由激光谐振腔、电极、绝缘层、脉冲发生器和高频电源组成，其特征在于，在激光放电腔内，设有上预电离电极和下预电离电极，两电极内表面附有绝缘层，且上预电离电极和下预电离电极分别与脉冲发生器电连接；两主放电电极分别置于上预电离电极和下预电离电极的两侧，且分别与高频交流电源输出端相连。