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发明名称 UV attenuation filter
摘要
申请公布号 EP1260835(B1) 申请公布日期 2006.07.19
申请号 EP20020011010 申请日期 2002.05.17
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 WEIGL, BERNHARD;PAUL, HANS-JOCHEN;EVA, ERIC
分类号 G02B5/20;G02B5/22;C03C17/34;G02B1/11 主分类号 G02B5/20
代理机构 代理人
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