发明名称 |
压电元件和压电激励器和压电泵及喷墨式记录头 |
摘要 |
一种压电元件(10),包含:基板(1);在基板(1)上方形成的第1导电层(4);在第1导电层(4)上方形成的由具有钙钛矿型化合物结构的压电体构成的压电体层(5);以及电连接在压电体层(5)上的第2导电层(6),第1导电层(4)包含1层以上的由在(001)优先取向的镧系层状钙钛矿型化合物构成的缓冲层(41)。由此,本发明能够提供可得到良好压电特性的压电元件。 |
申请公布号 |
CN1805164A |
申请公布日期 |
2006.07.19 |
申请号 |
CN200510134075.X |
申请日期 |
2005.12.23 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
岩下节也;木岛健;大桥幸司 |
分类号 |
H01L41/08(2006.01);H01L41/18(2006.01) |
主分类号 |
H01L41/08(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
李香兰 |
主权项 |
1、一种压电元件,其特征在于,包含:基板;在所述基板上方形成的第1导电层;在所述第1导电层的上方形成的、由具有钙钛矿结构的压电体构成的压电体层;以及与所述压电体层电连接的第2导电层,所述第1导电层包含1层以上的由在(001)优先取向的镧系层状钙钛矿型化合物构成的缓冲层。 |
地址 |
日本东京 |