发明名称 压电元件和压电激励器和压电泵及喷墨式记录头
摘要 一种压电元件(10),包含:基板(1);在基板(1)上方形成的第1导电层(4);在第1导电层(4)上方形成的由具有钙钛矿型化合物结构的压电体构成的压电体层(5);以及电连接在压电体层(5)上的第2导电层(6),第1导电层(4)包含1层以上的由在(001)优先取向的镧系层状钙钛矿型化合物构成的缓冲层(41)。由此,本发明能够提供可得到良好压电特性的压电元件。
申请公布号 CN1805164A 申请公布日期 2006.07.19
申请号 CN200510134075.X 申请日期 2005.12.23
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 岩下节也;木岛健;大桥幸司
分类号 H01L41/08(2006.01);H01L41/18(2006.01) 主分类号 H01L41/08(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 李香兰
主权项 1、一种压电元件,其特征在于,包含:基板;在所述基板上方形成的第1导电层;在所述第1导电层的上方形成的、由具有钙钛矿结构的压电体构成的压电体层;以及与所述压电体层电连接的第2导电层,所述第1导电层包含1层以上的由在(001)优先取向的镧系层状钙钛矿型化合物构成的缓冲层。
地址 日本东京