发明名称 可收集制程碎屑与释放静电的导电地垫
摘要 本发明公开了一种可收集制程碎屑与释放静电的导电地垫,该导电地垫包括有框架、第一肋状柱、第二肋状往与接地线。其中框架由四面强化侧壁与一底板构成,并至少有一强化侧壁具有向框架内部倾斜的上表面。第一肋状柱的两端与上述强化侧壁相连。第二肋状柱的两端也连接于强化侧壁上,并与第一肋状柱垂直固定,以增加第一肋状柱的承载强度。接地线从框架中延伸出来,用于释放静电。
申请公布号 CN1265454C 申请公布日期 2006.07.19
申请号 CN03101984.6 申请日期 2003.01.30
申请人 统宝光电股份有限公司 发明人 陈庆隆
分类号 H01L23/60(2006.01);H05F3/02(2006.01);E04F15/16(2006.01) 主分类号 H01L23/60(2006.01)
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 郑玉洁
主权项 1.一种可收集制程碎屑及释放静电的导电地垫,该导电地垫至少包括:金属框架,该框架由四面强化侧壁与一底板构成,该强化侧壁是由构成侧壁的金属板弯折或焊接而成;第一肋状柱,该第一肋状柱的两端与强化侧壁相连;以及接地线,该接地线从所述框架延伸出来,用于释放静电。
地址 台湾省新竹市
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