发明名称 |
可收集制程碎屑与释放静电的导电地垫 |
摘要 |
本发明公开了一种可收集制程碎屑与释放静电的导电地垫,该导电地垫包括有框架、第一肋状柱、第二肋状往与接地线。其中框架由四面强化侧壁与一底板构成,并至少有一强化侧壁具有向框架内部倾斜的上表面。第一肋状柱的两端与上述强化侧壁相连。第二肋状柱的两端也连接于强化侧壁上,并与第一肋状柱垂直固定,以增加第一肋状柱的承载强度。接地线从框架中延伸出来,用于释放静电。 |
申请公布号 |
CN1265454C |
申请公布日期 |
2006.07.19 |
申请号 |
CN03101984.6 |
申请日期 |
2003.01.30 |
申请人 |
统宝光电股份有限公司 |
发明人 |
陈庆隆 |
分类号 |
H01L23/60(2006.01);H05F3/02(2006.01);E04F15/16(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/60(2006.01) |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 |
代理人 |
郑玉洁 |
主权项 |
1.一种可收集制程碎屑及释放静电的导电地垫,该导电地垫至少包括:金属框架,该框架由四面强化侧壁与一底板构成,该强化侧壁是由构成侧壁的金属板弯折或焊接而成;第一肋状柱,该第一肋状柱的两端与强化侧壁相连;以及接地线,该接地线从所述框架延伸出来,用于释放静电。 |
地址 |
台湾省新竹市 |