收发器无源器件和模块

摘要

本发明提供了一种收发器无源器件和模块。该收发器无源器件包括半导体衬底或介电衬底、至少一个电容器、一介电层、至少一个电感、一通孔、一金属电极、射频信号线、以及射频地线。该至少一个电容器形成在衬底上。该介电层形成在电容器和衬底上。该至少一个电感形成在介电层上。通孔穿过介电层。金属电极形成在通孔内并电连接电容器和电感。射频信号线用于电感和电容。射频地线形成在衬底上并于射频信号线隔离。安装无源器件及其模块所需的面积的减小有利于缩小通信系统的大小。此外，MEMS技术的使用可减小电感的插损，这提高了通信系统的通信质量。

主权项

1.一种收发器无源器件，包括半导体衬底和介电衬底中的一个；至少一个形成在该衬底上的电容器；形成在该电容器和该衬底上的一介电层；形成在该介电层上的至少一个电感；贯穿该介电层的一通孔；形成在该通孔中并电连接该电容器和电感的一金属电极；用于该电感和电容器的射频信号线；以及形成在该衬底上并与该射频信号线隔离的射频地线。