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发明名称 METHOD OF FORMING A SELF ALIGN CONTACT PLUG IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060082310(A) 申请公布日期 2006.07.18
申请号 KR20050002831 申请日期 2005.01.12
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, SE JUN
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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