| 摘要 |
本发明之课题系于提供一种基板接合装置，其系设有一可形成一供基板接合之用之真空空间之活门组合体。本发明之基板接合装置系一用以接合一对基板者，其特征系于包含有：第1加压板及第2加压板，系用以支撑前述各基板者；移送部，系设置成可移送前述第1加压板及第2加压板中至少一加压板者；活门组合体，系具有：多数活门，系可对前述第1及第2加压板呈密着设置，俾与前述第1及第2加压板形成密闭空间者，及，活门驱动部，可驱动前述活门，使前述活门可对前述第1及第2加压板密着者；及，排气部，系用以将藉前述第1、第2加压板及前述活门组合体形成之密闭空间之气体排除者。依本发明，可适当地调整基板间之间隔距离，俾可于真空作业时提升真空效率者。 |
