| 摘要 |
本发明揭示一种流体流动控制装置，其包括一用于使一流体流入该装置之入口，及一用于使该流体流出该装置之出口。该装置亦可包括一压力调节部分，其经配置以接收该流体且以一受控之压力输送该流体。该装置进一步可包括一流动控制阀部分，其经配置以接收该由该压力调节部分输送之流体且以一受控之流动速率输送该流体。另外，该装置可包括一流量计，其经配置以量测该流体之该流动速率；及一控制器，其根据至少该由该流量计所量测之流动速率来控制至少该流动控制阀部分。在某些实例中，该装置可用于使流体流入一半导体处理工具及／或与多种流体混合。 |
