发明名称 预烧设备
摘要 一种预烧设备,适于对多个电子产品进行预烧之制程。此预烧设备包括一预烧室、一温度调整装置以及一步进式输送装置。预烧室具有至少一进出隧道,而温度调整装置系配设于预烧室内部,用以调整预烧室内部之温度。步进式输送装置则贯穿预烧室,用以承载前述之电子产品,使之经由进出隧道以步进的方式依序进出预烧室,其中当步进式输送装置停止前进时,至少一个电子产品系位于进出隧道,且在进出隧道中此一电子产品的停止处,电子产品与进出隧道问的间隙距离系介于0.5至15公分,因此能够以电子产品作为预烧室及外界环境的热屏障。
申请公布号 TW200625489 申请公布日期 2006.07.16
申请号 TW094100029 申请日期 2005.01.03
申请人 中华映管股份有限公司 发明人 吴富贵;郭荣作
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 台北市中山区中山北路3段22号