基板处理装置、使用状况确认方法、以及不当使用防止方法

摘要

能确认基板处理装置是否被不当使用，若有不当使用之事实时，能防止该不当使用。授权档案LF，系将授权资讯L予以加密之档案，授权资讯L包含对基板处理装置之特定使用者的使用条件。整合性确认程式P2，系确认以解密程式P1解密后之授权档案LF之内容，与从基板处理装置所得之装置资讯DI、网路资讯NI、及现在时刻CT的整合性，来确认有无不当使用之事实。若有不当使用时，根据整合性确认程式P2的资讯，由控制程式P3停止基板处理装置之动作，直到实施既定处置为止。