用于处理介电材料之设备及制程

摘要

一种用于处理介电材料之设备及制程，该介电材料例如低k介电材料、预加金属的材料、阻障层及类似物。此设备一般包含：一辐射源模组、一耦合到该辐射源模组的处理室、及一装卸室，该装卸室是与处理室及一晶圆搬运机呈操作性相通。每一模组的气氛均可以受到控制而适用于不同种类的介电材料。辐射源模组包括一反射器、一紫外线辐射源及一板，该板可允许大约150nm到大约300nm的波长穿透过去，如此界定出一密封内部区域，其中此密封内部区域是与一流体源呈流体相通。