以臭氧水成长超薄氧化层的方法

摘要

本发明将臭氧气体溶于去离子水中形成臭氧水，再将矽晶圆浸入臭氧水中成长超薄氧化层，用以取代传统制程中的高温成长超薄氧化层。本发明的优点为省时、省能、不需高温即可成长超薄、高密度、高均匀性的氧化层。