| 摘要 |
〔课题〕得到一种浮起单元及包括浮起单元之浮起装置，在空气易泄漏且翘曲之玻璃基板的端部，亦能以非接触之状态确实地保持该基板。〔解决手段〕利用球面轴承在基座21支撑设置多孔质单元41的摆动基体31。又，使空气介于基座21和摆动基体31之间，作成使摆动基体31及多孔质单元41沿着球面可摆动。藉由本摆动，喷出空气之改良式浮起单元12的上面12a可自由地倾斜。放置翘曲之玻璃基板时，改良式浮起单元12的上面12a仿仿基板之倾斜而变成倾斜之状态。若在此状态喷出空气，基板以和上面12a平行之状态浮起，浮力确实地作用于基板。因而，可解决该课题。 |
