改良型阳极层粒子束装置

摘要

一种改良型阳极层粒子束装置，其系包括有：一底座；至少一阳极，系设于上述底座上端，该阳极与底座之间设置有一绝缘层；至少一磁极装置，其组成系为一磁性体且具有导电性，并充用为一阴极，且该磁极装置系设于该底座上端并围绕上述阳极之中心位置，而设置于阳极之周缘，且较该阳极略高，并于该阳极之放射路径上设置有一通口；一放电沟槽，系设置于阳极及磁极装置之间；一绝缘材料，系设于该放电沟槽中，用以隔绝该阳极与该磁极装置所组成；如上述构造，可可施加一制程气体于放电沟漕中，再施加一偏压电场后，辅以阳极及磁极装置作用下，以产生一粒子束自通口射出。