发明名称 气阀及其活塞环
摘要 一种气阀连接于一气室,用来调节该气室内之气体压力。该气阀包含有一壳体、一活塞环、一阀门,以及一用来驱使该阀门转动的驱动装置。一通道形成于该壳体内而其该气室连通,而该活塞环系设于该通道之一侧。该活塞环包含有一与该壳体贴合之平面、一第一弧面以及一第二弧面。该第一弧面与该壳体贴合,且垂直地于该平面并与该平面相接。该第二弧面与该第一弧面相接。该阀门设于该通道内,并具有一与该活塞环之第二弧面接触的第三弧面。
申请公布号 TW200624595 申请公布日期 2006.07.16
申请号 TW094100362 申请日期 2005.01.06
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 赖建兴;张英毅;郑昭贤;许文振;黄吉禛
分类号 C23C16/52 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人 许锺迪
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号