半导体元件及其制作方法

摘要

本发明提供一种半导体元件及其制作方法，半导体元件包含有复数个散射条设置于一隔离导线两侧，以改善微影制程之结果，各散射条具有一定的宽度并与隔离的导线间距有一定距离，以增加对半导体元件进行图案化时的微影制程的聚焦深度，且在完成半导体元件的制作后，这些散射条将仍存留于半导体元件内。