微影装置、检偏镜板、次组件、测量一投影系统一参数之方法、以及用以图型化之器件

摘要

本发明揭示一种藉由一投影辐射束照明一在一投影系统(PL)与一辐射感测器(DS)之间的检偏镜板(AP)。该检偏镜板包含两个交叉区域，该等区域中之每一区域均透射具有一不同偏振方向之辐射。图型化该投影辐射束而不影响该射束之偏振。藉由图型化该投影辐射束而使一区域较该另一区域接收更多的辐射，选择性的给予该辐射感测器(DS)偏振。