| 摘要 |
本发明涉及一种在薄膜状聚合体表面形成金属薄膜的装置及其处理方法，特别是一种能够离子化有机金属化合物，调节其离子活动距离，以形成粘附性良好、且具有高度均匀性的金属薄膜的薄膜状聚合体金属薄膜形成装置及其处理方法。本发明装置包括：处理室，其内部可形成密闭空间；主辊，其配置在所述处理室的，用于使薄膜状聚合体围绕其外周面移动；高频电源供应装置，用于供给高频电源，以在所述处理室内部产生等离子；电子回旋共振源供应装置，用于向所述处理室内部提供电子回旋共振源；栅极部，其与所述主辊隔开一定距离，并围绕该主辊，用于聚集离子；真空泵，用于减压所述处理室内部气压，使所述处理室内部成为真空状态。 |
