图案形成用组成物及图案形成材料、以及图案形成装置及图案形成方法

摘要

本发明之目的系提供感度及解像度良好、可得到高精细图案、而且与印刷配线形成用基板等的基体的密接性优良、图案形成后的图案形状成为良好形状的图案形成用组成物等。因此，提供一种图案形成用组成物，其包含具有数个可链转移的取代基之链转移化合物、聚合抑制剂、黏结剂、聚合性化合物及光聚合引发剂。于该图案形成用组成物中，可链转移的取代基较佳系巯基。