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发明名称 HIERARCHISCHER INTERGRIERTERSELBSTTEST
摘要
申请公布号 AT332530(T) 申请公布日期 2006.07.15
申请号 AT20020732895T 申请日期 2002.05.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CHEN, HOWARD, HAO;HSU, LOUIS, LU-CHEN;WANG, LI-KONG
分类号 G01R31/28;G06F11/22;G06F11/27;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G06F11/27;G01R31/318 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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