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发明名称 NEUE ZUSAMMENSETZUNG ZUM SELEKTIVEN ÄTZEN VON OXIDEN AUF METALLEN
摘要
申请公布号 AT330328(T) 申请公布日期 2006.07.15
申请号 AT20000982636T 申请日期 2000.10.12
申请人 FUJIFILM ELECTRONIC MATERIALS USA, INC. 发明人 HONDA, KENJI;ELDERKIN, MICHELLE
分类号 C09K11/08;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/26;C11D11/00;C23G1/06;C23G1/10;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/308;H01L21/321;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 C09K11/08
代理机构 代理人
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