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发明名称
METHOD FOR MAKING Fin FET
摘要
申请公布号
KR100601911(B1)
申请公布日期
2006.07.14
申请号
KR20030100533
申请日期
2003.12.30
申请人
发明人
分类号
H01L27/08;H01L21/336;H01L21/8228;H01L21/8242;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/49;H01L29/786
主分类号
H01L27/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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