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发明名称 Abscheidung von Glas über eine Halbleiterscheibe
摘要
申请公布号 DE69832035(T2) 申请公布日期 2006.07.13
申请号 DE19986032035T 申请日期 1998.12.07
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK;SIEMENS AG 发明人 KIRCHHOF, MARKUS;CHAKRAVARTI, ASHIMA;ILG, MATTHIAS;MCKINLEY, KEVIN A.;NGUYEN, SON V.;SHAPIRO, MICHAEL J.
分类号 C23C16/40;H01L21/31;C23C16/44;H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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