发明名称 Mikrovakuumvorrichtung
摘要
申请公布号 DE19534576(B4) 申请公布日期 2006.07.13
申请号 DE19951034576 申请日期 1995.09.18
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 NAKAMOTO, MASAYUKI;OHASHI, HIROMICHI
分类号 H01J21/10;H01J1/304;H01J19/24;H01J19/36 主分类号 H01J21/10
代理机构 代理人
主权项
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