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Der selektive Gassensor dient zur Feststellung des Vorhandenseins von Testgas, z. B. Helium. Er weist ein evakuiertes Gehäuse (10) auf, das mit einer gasselektiv durchlässigen Membran (22) verschlossen ist. Die Membran (22) ist Bestandteil eines Schauglases, bei dem die Glasscheibe (20) mit einem Loch versehen ist, welches mit der aus Silizium-Material bestehenden Membran (22) verschlossen ist. Der Rahmen (15) der Membranwand (14) ist durch eine Weichmetalldichtung (16) hochvakuumtauglich mit dem Gehäuse (10) verbunden. Das Gehäuse (10) kann zugleich eine der Elektroden des Gasdrucksensors (31) bilden.
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