| 发明名称 |
Polieren von Wafer mit in schaumplastomergebundenem Korn |
| 摘要 |
Es wird ein Polierwerkzeug vorgeschlagen, bei dem die Polierkörner in einer geschäumten Plastomermasse gebunden sind.
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| 申请公布号 |
DE102004063858(A1) |
申请公布日期 |
2006.07.13 |
| 申请号 |
DE20041063858 |
申请日期 |
2004.12.30 |
| 申请人 |
SUPFINA GRIESHABER GMBH & CO.KG |
发明人 |
KEIPKE, ROY;MUELLER, CHRISTOPH |
| 分类号 |
B24D11/02;B24B37/16;B24B37/30;B24D3/00;B24D13/00;B24D13/14 |
主分类号 |
B24D11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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