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发明名称 METHOD FOR FORMING SELF-ALIGNED CONTACT PLUG OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060081561(A) 申请公布日期 2006.07.13
申请号 KR20050002051 申请日期 2005.01.10
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YUN, SE RAH;HONG, CHANG KI;LEE, JAE DONG;GOO, JU SEON;BAI, KEUN HEE;PARK, JEONG HEON;JUNG, MYOUNG HO;PARK, JOON SANG;KIM, YOUNG OK
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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