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经营范围
发明名称
Gas mixing device of chemical vapor deposition apparatus
摘要
申请公布号
KR100600282(B1)
申请公布日期
2006.07.13
申请号
KR20040054146
申请日期
2004.07.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01L21/20;H01L21/316
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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