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发明名称 APPARATUS FOR TRANSFERRING A WAFER
摘要
申请公布号 KR20060081464(A) 申请公布日期 2006.07.13
申请号 KR20050001790 申请日期 2005.01.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 OH, SE YOUNG
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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