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发明名称 Coating liquid for forming a silica-based film having low dielectric constant and substrate having film of low dielectric constant coated thereon
摘要
申请公布号 KR100600630(B1) 申请公布日期 2006.07.13
申请号 KR19997012205 申请日期 1999.12.23
申请人 发明人
分类号 C09D183/14 主分类号 C09D183/14
代理机构 代理人
主权项
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