发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Grabenstrukturkondensatoreinrichtung
摘要
申请公布号 DE10142580(B4) 申请公布日期 2006.07.13
申请号 DE20011042580 申请日期 2001.08.31
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SEIDL, HARALD;GUTSCHE, MARTIN;HECHT, THOMAS;LEONHARDT, MATTHIAS;SCHROEDER, UWE
分类号 H01L21/8242 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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