Werkstückendickenmessung mit Staudruckdüse

摘要

Vorrichtung zum hochgenauen, indirekten, berührungslosen Messen der Dicke von Werkstücken (5), insbesondere von Wafern, während der Dickenbearbeitung des Werkstücks (5) mittels sehr genau nachgeführter Staudruckdüse (3).