发明名称 |
Speicherzelle mit einem dünnen Isolationskragen und Speicherbaustein |
摘要 |
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申请公布号 |
DE10202139(B4) |
申请公布日期 |
2006.07.13 |
申请号 |
DE20021002139 |
申请日期 |
2002.01.21 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
POPP, MARTIN;TEMMLER, DIETMAR |
分类号 |
H01L27/108;H01L21/8242;H01L23/48 |
主分类号 |
H01L27/108 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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