| 发明名称 | 输送装置 | ||
| 摘要 | 提供了用于将汽相中的固态前体化合物输送到反应器的输送装置。所述装置包括其上放置了一层填充材料的固态前体化合物的前体组合物。还提供了传输充满了用于输送入所述CVD反应器中的前体化合物的运载气体的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1800446A | 申请公布日期 | 2006.07.12 |
| 申请号 | CN200510129410.7 | 申请日期 | 2005.12.08 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | D·V·舍奈－卡特克哈特;M·L·蒂蒙斯;C·R·马尔斯曼;E·沃尔克;R·L·小迪卡罗 |
| 分类号 | C23C16/448(2006.01);H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | C23C16/448(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陈剑华 |
| 主权项 | 1.一种用于固态前体化合物的汽相输送装置，它包括输出腔和输入腔，所述输入腔含有前体组合物，该前体组合物包含固态前体化合物和一层置于所述固态前体化合物上的填充材料。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||