发明名称
摘要
申请公布号 JP3796294(B2) 申请公布日期 2006.07.12
申请号 JP19960179076 申请日期 1996.07.09
申请人 发明人
分类号 G02B27/00;G02B5/02;G02B27/48;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G02B27/00
代理机构 代理人
主权项
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