| 发明名称 |
A PROCESSING LIQUID COATING APPARATUS AND A PROCESSING LIQUID COATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1678747(A1) |
申请公布日期 |
2006.07.12 |
| 申请号 |
EP20040793317 |
申请日期 |
2004.10.27 |
| 申请人 |
EBARA CORPORATION |
发明人 |
SHIRAKASHI, MITSUHIKO;HIROSE, MASAYOSHI |
| 分类号 |
B05C11/00;B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;G03F7/30;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B05C11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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