一种微悬臂梁的品质因数控制系统

摘要

一种微悬臂梁的品质因数控制系统，它包括正反馈环路模块和锁相环路模块。其中，正反馈环路模块，它包括一个可变增益放大器、一个可变移相器以及一个加法器，用于增加微悬臂梁的品质因数，并输出F₁＝F₀e^iωt到压电驱动器，将调制过的信号加入到微悬臂梁的驱动信号中。锁相环路模块包括低通滤波器、相位检测器和电压控制振荡器，用于跟踪微悬臂梁的谐振频率，同时产生输出F₂＝GAe^{i(ωt－Φ+π/2)}到压电驱动器。本发明不仅使AC检测法在液体中有更高的灵敏度，克服微悬臂梁在液体中形变漂移对检测的影响，也可以有效地提高传感器的线性范围。

主权项

1.一种微悬臂梁的品质因数控制系统，它包括正反馈环路模块(20)和锁相环路模块(30)。其中，正反馈环路模块，它包括一个可变增益放大器(21)、一个可变移相器(22)以及一个加法器(23)，用于增加微悬臂梁的品质因数，并输出F1＝F0eiωt到压电驱动器，将调制过的信号加入到微悬臂梁的驱动信号中。锁相环路模块(30)包括低通滤波器(31)、相位检测器(32)和电压控制振荡器(33)，用于跟踪微悬臂梁的振动频率和相位，同时产生输出F2＝GAei(ωt-φ+π/2) 到压电驱动器。