| 发明名称 |
Microstructure and methods for fabricating such structure |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0869556(B1) |
申请公布日期 |
2006.07.12 |
| 申请号 |
EP19980104739 |
申请日期 |
1998.03.17 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
TOBBEN, DIRK;WEIGAND, PETER |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L27/108;B81B3/00;H01L21/02;H01L21/32;H01L21/822;H01L21/8242 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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